クリーンルーム対応 ウエハーに挟むスペーサー・挿間紙
ウエハーの間に挟んで積み重ねることができます
一般の紙類は紙粉を発生するためクリーンルーム内では使用しません。
ウエハーの合紙(挿間紙)を使用するときは、本製品「ウエハー用クリーン合紙」を使用します。
表面にエンボス加工を施したWSEと フラットなWSFの2種類から選択できます。
「エンボスタイプ」は無塵紙の表面に20μのエンボス加工を施しており、クッション性と剥離性が向上します。
本製品は破り・擦り・揉みに対して発塵を抑えるクリーンペーパー(無塵紙)を使用しています。
それらをクリーンルームにて加工を行い、その後真空パック(クリーンパック)を行っています。
「ウエハー用クリーン合紙」を合紙として使用することで安心して保管・運搬ができます。
基本情報タニムラ ウエハー用クリーン無塵合紙・挿間紙MK-WSF/WSE
■クリーンペーパー(無塵紙)を加工した製品です。
■クリーンルームにて加工後真空パックしています。
■破れ・擦り・揉みに対して粉塵がほとんど出ません。
■JGPSSやRoHSの有害物質規制に該当しません。
■表面にエンボス加工を施したタイプとフラットの2種類。
価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
---|---|
納期 |
~ 1ヶ月 ※受注後に製作いたします。 |
型番・ブランド名 | タニムラ ウエハー用クリーン無塵合紙・挿間紙MK-WSF/WSE |
用途/実績例 | ●半導体ウエハーを重ねて搬送・保管するときの合紙。 ●クリーンルーム内で使用する合紙(挿間紙)として。 ●エンボスタイプはクッション性と剥離性が向上します。 ●導電性クリーンペーパー仕様も別注にて可能です。 |