故障部位の「平面研磨」及び「断面研磨」を行い、原因の特定を行いました。
PKGの実装前の観察画像に対し、基板実装後に内部の様子に変化が生じたため、観察画像の結果より、故障部位の「平面研磨」及び「断面研磨」を行い、原因の特定を行いました。同モードの不良がいくつかある場合には、平面研磨・断面研磨と両方からの解析及び観察ができます。変化した部位に空洞が発生していることから、電子部品と基板間には半田ボールで接続後、アンダーフィルを流し込み密着性を上げました。この白い部分には「隙間」が発生したと考えられます。
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基本情報IS製品シリーズ 【事例】半導体の構造解析
【断面研磨方向】
○ペレットチップ
○PKGのボール端子
○基板
○アンダーフィル
○故障箇所(ボイドの発生)
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