カソードルミネッセンス分光装置　SPARC エルミネット

マイクロフォトニック構造研究用の高感度で複合機能を持つ高分解能角度分解型カソードルミネッセンスイメージング(CL)分光装置です。

SPARCの能力
SPARCはディープ・サブ波長の分解能でナノ・マイクロ構造のフォトニック研究に適した真に独特な分析手法です。
金属質（プラズモニック、Ag、Au、etc）、誘電体（SiO2、Si3N4、TiO2、etc）や半導体（Si、GaAs、CdTe、etc）のマイクロ・ナノフォトニック構造およびその関連材料の研究に有用です。

基本情報カソードルミネッセンス分光装置　SPARC

カソードルミネッセンス(CL)分光装置 SPARCは、SEMに接続し10nmより高い空間分解能でUV、可視光、IRスペクトル範囲を完全にカバーする高空間分解カソードルミネッセンスイメージング分光が行えます。さらに、SPARCは放出される光の角度分解分光情報も合わせて提供します。組み込まれているピエゾでコントロールされるパラボリックミラーにより高効率な取込の定量測定を行うことができます。SPARCは他に類を見ない独特な組合せの装置です。

価格帯	1000万円 ~ 5000万円
納期	お問い合わせください ※６ヶ月以内
型番・ブランド名	DELMIC 社製　SPARC
用途／実績例	半導体や炭素材料の欠陥、転位、不純物、組成の分析や評価太陽電池の結晶構造の分析や評価