ナノ領域の分解能を持つ装置など、様々なご要望にお応えいたします。
池上精機では、自動計測・超高精度・信号処理・気密・高真空などの、高い技術を必要とする装置を製作しております。ナノ領域の分解能を持つ硬度計測装置、分析の前処理装置、半導体のイオン洗浄チャンバー、自動車の量産部品の検査装置など、お客様のご要望にお応えしております。
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基本情報総合技術 装置
【製品紹介】
○ナノ領域の硬度計測装置
→試料から数十~数百ナノといった薄膜切片を切り出す際に
生じる微小な応力を測定し、波形として記録することができる
○CCD計測付き自動研磨装置
→平面度の低い製品を自動で研磨する装置において、
装置から試料を取り外すことなく研磨状況の確認を行える
○自動検査装置
→全自動での全数検査を実現し、品質の保証と経費の削減に貢献
○回転式ウルトラミクロトーム
→100ナノの試料切片作成機構を回転式で実現
○紫外線洗浄機
→真空中にて、エキシマランプによる紫外線照射でウエハの洗浄を行う
○トリミング装置
→包埋された試料片の先端を、切片切り出しに都合の良い先端形状にトリミング
○実験装置
○検査装置
○組立装置
○製造装置
○分析機器
○評価装置
○省力機器
○自動化機器
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