株式会社テクノビジョン フォトマスク洗浄装置|簡易型マスク洗浄装置TWC-302

「スクラブ洗浄+リンス」&「Hot純水乾燥」の2槽式簡易型マスク洗浄装置

マスクに付着した1μm以上のパーティクルを除去する簡易型のマスク洗浄装置。
2槽式のマスク洗浄装置で、1槽目で専用ブラシによるスクラブ洗浄と リンスを行い、2槽目ではホット純水乾燥を行う簡易型のマスク洗浄装置です

1層目のスクラブ洗浄において、専用薬液による洗浄もオプションとして提供しております。専用薬液を使用すると、レジスト残渣を除去することも可能になります。

基本情報フォトマスク洗浄装置|簡易型マスク洗浄装置TWC-302

■主な特長
・ワークの【スクラブ洗浄・リンス・乾燥】を一台の装置でスピーディーに実施。
・スクラブ洗浄用特殊ブラシにてワークに傷を付けず、洗浄ムラなく精密洗浄可能。
・縦型処理の為、ワークにストレスがかからない設計。
・少量多品種、R&D用途の基板洗浄にも最適。
・乾燥は、ホット純水乾燥。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 TWC-302
用途/実績例 フォトマスク:半導体用、液晶用、有機EL用、薄膜デバイス用、ICパッケージ用、PWB用、FPC用、その他、板状基板等洗浄可

カタログフォトマスク洗浄装置|簡易型マスク洗浄装置TWC-302

取扱企業フォトマスク洗浄装置|簡易型マスク洗浄装置TWC-302

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株式会社テクノビジョン 本社

■半導体製造プロセス関連の洗浄装置 ■半導体製造プロセス関連の組み立て装置 ■FPD製造プロセス関連の洗浄装置 ■ダイサー周辺機器 ■上記製品の製造、販売、及び関連製品の開発、設計、製造と輸出、輸入業務。 【洗浄装置関連】 ・カセット・キャリア洗浄装置 ・フォトマスク洗浄装置 ・全自動マスク洗浄装置/マスク洗浄機 ・簡易洗浄ユニット ・紫外線オゾン洗浄装置 ・超純水用・エアー用加熱装置 【スーパークリーンヒーター】 ・超純水用加熱ヒーター ・クリーン加熱ヒーター ・簡易タイプ温度コントローラー 【後工程組立関連】 ・テープマウンター/ウェハーマウンター(ウエハーマウンター) ・ウェハーエキスパンダー/ウェハー拡張装置 ・UVフィルム硬化装置/紫外線フィルム硬化装置 ・グリップリング/ウェハー収納ケース ※日本全国および海外(台湾、中国、欧米)にも対応。 詳細は、お気軽にお問合せ下さい。

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