株式会社ジェーイーエル 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
- 最終更新日:2014-10-31 15:39:44.0
- 印刷用ページ
半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
【特徴】
○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm
○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm
○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下
○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相パルスモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
---|---|
納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。 |
用途/実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 |
カタログ3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
取扱企業3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。