株式会社ジェーイーエル 3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
- 最終更新日:2014-10-31 15:41:45.0
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省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3100S-PMシリーズ
【特徴】
○アームバリエーション:100mm
○Z軸バリエーション:200mm、300mm
○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下
○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相パルスモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:真空吸着、落とし込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能
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