3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズジェーイーエル

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

【特徴】
○SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、
　リンクアーム仕様、Zレス仕様にも変更可能
○可搬重量:アーム第3関節換算0.2kgf以下（ワークのみ）
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相ステッピングモータ使用
○S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送
○ウエハ保持:真空吸着
○チャックの材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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