4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズジェーイーエル

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:95mm、156mm
○Z軸バリエーション:200mm、300mm
○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下
○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備
○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相パルスモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○ウェーハ保持:真空吸着、落し込み、エッジグリップチャック
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格情報	お問い合わせ下さい。
納期	お問い合わせください ※お問い合わせ下さい。
用途／実績例	●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。