真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズジェーイーエル

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:160mm、190mm、260mm
○Z軸バリエーション:20mm、40mm
○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm)
○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm)
○アーム関節部には、磁性流体シール装備
○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用
○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィルタ装備
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸2相パルスモータ使用
○S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送
○モータ仕様としてサーボモータ仕様も選択可能
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○ウェーハ保持:落し込み、エッジグリップチャック
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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