光学式アライナ　SAL4381シリーズジェーイーエル

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報光学式アライナ　SAL4381シリーズ

【特徴】
○半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の
　位置決めを必要とする搬送に対応
○シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決め
○クリーン対応:スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応可能

【仕様】
○被搬送物：3インチ,100～200mmシリコンウェーハ
○位置決め時間：センタリング:5sec
○位置決め精度：センタリング:±0.3mm以内　オリフラロケート:±0.3度以内
○センサ：透過式LEDセンサ
○サイズ切替：コマンド制御による切替または通信
○クリーン度：0.1μm クラス1(駆動部排気時)
○駆動方式：2相ステッピングモータ4軸使用　モータドライバ、コントローラ内蔵
○ユーティリティ：電源:DC24V 2A　真空:-53kPa以上

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