株式会社ジェーイーエル 3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ

3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ http://www.ipros.jp/public/product/image/ccd/2000143924/IPROS1637619320192731245.JPG 【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700mm ○Z軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm、1500mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○第3関節にて40kgf以下(700mm) ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸ACサーボモータ使用 ○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送 ○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能 ○チャックには各種センサ取付可能 →アライメント、有無、マッピング等 ○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 株式会社ジェーイーエル 製造・加工機械 > 産業用ロボット > 搬送・ハンドリングロボット お問い合わせ下さい。
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:400mm、500mm、700mm
○Z軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm、1500mm
○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm)
○第3関節にて40kgf以下(700mm)
○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸ACサーボモータ使用
○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○チャックには各種センサ取付可能
→アライメント、有無、マッピング等
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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発売日 取扱い中
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カタログ3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ

取扱企業3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ

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電子機器製造販売

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