4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズジェーイーエル

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

基本情報4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

【特徴】
○アームバリエーション:400mm、500mm
○Z軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm
○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm)
○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルタ装備
○ツインアーム採用により、基板入替え時間の短縮
○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸ACサーボモータ使用
○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○ハンド部には各種センサ取付可能
→アライメント、有無、マッピング等
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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