4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000 ジェーイーエル

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。
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基本情報4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000

【特徴】
○アームバリエーション:550mm、750mm、800mm、820mm
○Z軸バリエーション:95mm、105mm、335mm
○可搬重量
→第3関節にて30kgf以下(550mm、750mm、820mm)
→第3関節にて40kgf以下(800mm)
○リンク式採用による、優れた直進性、低パーティクルを実現
○ツインアーム採用による、基板入替え時間の短縮
○動作モニター装備
○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O
○全軸ACサーボモータ使用
○S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送
○チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
○被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能

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