株式会社日立ハイテク 大気圧プラズマ処理装置 リモート式
- 最終更新日：2020-11-10 13:20:35.0
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アジア有力企業において多数の実績あり。
プラズマ発生部と処理部を完全に乖離します。
処理はラジカル成分のみで実施します。
■処理対象
対象ワーク表面の改質(接合強度の向上、密着性の向上）
対象ワーク表面の有機物除去
【特徴】
■電子・イオンのアタックがなくラジカルのみでの化学的な処理のため処理膜へのダメージを低減
■電極形成後の導電フィルム・ガラスの処理に最適
■各種反応ガスの使用が可能: CDA(Clean Dry Air), N2, O2,Ar等
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基本情報大気圧プラズマ処理装置 リモート式
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【お問い合わせ先】
株式会社日立ハイテク
生産システム営業本部 センサデバイスソリューション部 坂本
TEL 080-6772-6387
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取扱企業大気圧プラズマ処理装置 リモート式
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半導体製造装置、FPD・ハードディスク関連製造装置、汎用分析機器、解析装置、医用分析装置の製造・販売・サービス、および産業・ITシステム、工業材料、電子デバイス・材料などの販売
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