ガスドープFZシリコンは、単結晶の引き上げをドーパントガス中で行なう事によって、不純物をドーピングしたFZシリコンです。
弊社では高品質・高純度FZシリコンのご提供が可能です。
現在、FZシリコンは汚染物質の少なさから、既存のメモリーやDSPなどのICのみならず、MEMSやオプトセンサ分野にも幅広く使用されております。
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★Prime Grade FZ ingot（即納可能）
納品時にはメーカーのCofCをおつけします。
仕様
方位: (1-1-1) ± 2 deg.
直径(mm) : 101,60 ± 0,20
長さ(mm) : 200 - 400
第一オリフラ(mm) : 30,5 - 34,5 (1-10) +/- 1 Deg.
第二オリフラ(mm) : N.A.
タイプ: N-type/Phosphorous
ライフタイム(microsec) : 1000
抵抗値(ohm cm) 25°C. : 2032,00
抵抗値公差(ohm cm) : ±700,00
RRV [%] : N.A.
基本情報FZウェーハ FZシリコン製品 ガスドープドＦＺシリコン
【主な仕様】
ガスでドーパントされたFZシリコンになります。
○直径：50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm , 200mm
〇抵抗は数ohmから数千程度まで対応可能です
○結晶方位：＜100＞or＜111＞(直径による）
○伝導型（ドーパント）：P(Boron) or N(Phosphorus)
○抵抗率公差：抵抗率により異なります
○面内抵抗率分布：抵抗率により異なります
○キャリアライフタイム：抵抗率により異なります
○酸素・炭素濃度 ：＜2.0 × 10(16)atoms/cm3 程度
25枚もしくは在庫状況により小ロットから対応可能です。
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| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。 |
| 用途／実績例 | 【アプリケーション】 ○Power discrete, diode ○Automotive power devices ○MEMS 〇太陽電池 ●詳しくはお問い合わせください。 |
カタログFZウェーハ FZシリコン製品 ガスドープドＦＺシリコン
取扱企業FZウェーハ FZシリコン製品 ガスドープドＦＺシリコン
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【主な取扱商品】 テスト・モニター用ベアウェーハ(高精度・パーティクルチェック用・COP対策品）、コインロールウェーハ、SOI、拡散ウェーハ、ＳｉＧｅ、GaAs、Ｇｅ，サファイア、石英、等。 各種加工｛成膜・グラインダー(50μm以下も可能）ダイシング・サイズダウン・パターニング・Si再生研磨加工・洗浄加工}も対応可能です。 【CZウェーハ】 ■直径は1インチ〜450mmに対応可能 ■成膜加工可能 ■テストパターン付ウェーハ(4インチ〜12インチ）も対応 ■レチクルご支給によるテストパターニング受託も対応 【FZウェーハ】 直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗シリコンウェーハを取り扱っております。製法はノンドープ、ガスドープ、中性子照射品などがあり、高ライフタイム、低酸素・低炭素濃度が特徴です。 【用途例】 □各種試作研究開発 □半導体製造装置評価 □太陽電池ウエハ… シリコン単結晶/多結晶/合成石英の各種加工品も取り扱っております。 化合物半導体や各種電子材料も取り扱っております。
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