精密機器ガイド　ピエゾ／センサアプリケーション THKプレシジョン

顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などに最適

顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などの用途に最適なTHKプレシジョンの「精密機器」ガイドです。

弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ「顕微鏡用ナノサーボステージ」
SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ「顕微鏡用ナノステップスライダ」
超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール「精密金型加工用ステージ・センサ」
好感度薄膜歪みゲージ・静電容量センサを使った微小力センサ「微小荷重用フォースセンサ」
など、多数ご紹介しております。

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関連リンク - https://www.thkprecision.co.jp/

基本情報精密機器ガイド　ピエゾ／センサアプリケーション

【ご紹介製品】
［顕微鏡用ナノサーボステージ］
○弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ
○XY(Z)軸一体型ステージ
○対物レンズ用フォーカスポジショナ
［顕微鏡用ナノステップスライダ］
○SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ
［精密金型加工用ステージ・センサ］
○超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール
○超精密加工機用ステージ
○バイト芯高調整ステージ
○精密”力”センサ
［微小荷重用フォースセンサ］
○好感度薄膜歪みゲージ・静電容量センサを使った微小力センサ
○微小力センサ
○積層圧電アクチュエータ
○ピエゾドライバ
○超精密静電容量式変異センサ

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カタログ精密機器ガイド　ピエゾ／センサアプリケーション

THKプレシジョン精密機器ガイド　ピエゾ／センサアプリケーション

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取扱企業精密機器ガイド　ピエゾ／センサアプリケーション

THKプレシジョン株式会社

圧電アクチュエータを主な駆動源としたナノメートルの超精密位置決めユニットの専門メーカーとして、半導体や液晶、超精密加工、光ピックアップ、プローブ顕微鏡、光デバイスなど、検査・測定から製造装置にいたるまで様々な用途で要求されるナノメートルからサブミクロンの精密位置決めのご要望にお応えします。　また、μN～mNレベルの微小な力を検知測定するフォースセンサも製造・販売しています。　カタログ標準品だけでなく、個別仕様に合わせたカスタマイズにも短納期で対応可能です。