日本ドナルドソン株式会社ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

最終更新日：2024-03-22 17:04:38.0
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さまざまな汚染物質からウエハーやレンズを保護し、寿命を最大限にするフィルタ

「リソガードBSＭmax フィルタ」は、空気中の塩基性・酸性および有機ガスといった汚染物質に対して高い除去性能を発揮するキャビネット収納タイプのケミカルフィルタです。

さまざまな汚染物質からウエハーやレンズが汚染されないよう保護し、寿命を最大限に保ちます。半導体製造装置はもちろん、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中の汚染物質の除去に最適です。

【特長】
■さまざまな汚染物質の除去に使用可能
・酸性ガス（SO2、HCl、HBr）
・塩基性ガス（NH3、NMP、アミン）
・凝縮性有機ガス（HMDSO、TMS）
■従来の活性炭フィルタと比較して、同等サイズでありながら吸着容量アップを実現
■Refill プログラムにより、フィルタの再利用が可能
■グローバルな販売・サービス体制が整っている

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

【ラインアップ】
○P512612
・適用フィルタシステム：リソガード-12
・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：555 x 430 x 188 mm
・設定風量 ※：433 ㎥/hr
・最大圧力損失 ※：265 Pa
・概算重量：20kg
○P510610
・適用フィルタシステム：リソガード-2.5.7HIGH
・概略寸法（幅×高さ×奥行き）：630 x 335 x 155 mm
・設定風量 ※：355 ㎥/hr
・最大圧力損失 ※：300 Pa
・概算重量：16kg
（※リソガードBSMmaxフィルタ1個あたりの数値）

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用途／実績例	【用途】 ○ケミカル汚染物除去フィルターとして →半導体製造装置を始め、超清浄環境が要求される設備・エリアへ供給する空気中のさまざまな汚染物質の除去に最適です。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

カタログケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

取扱企業ケミカル汚染物除去フィルタ「リソガードBSMmaxフィルタ」

日本ドナルドソン株式会社

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