特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmから測定
半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能
国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器
基本情報パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93
●5段階の粒子を同時に測定
0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上
●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min
●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能
●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペースフリーを実現
●SiH4、SiHCl3、HBr、NH3、PH3、HClなどに対応
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | KS-93 |
用途/実績例 | 半導体工場 ガス供給ライン ガス製造工場 |
カタログパーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93
取扱企業パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93
パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。