リオン株式会社 パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmから測定

半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能
国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器

基本情報パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

●5段階の粒子を同時に測定
0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上
●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min
●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能
●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペースフリーを実現
●SiH4、SiHCl3、HBr、NH3、PH3、HClなどに対応

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納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 KS-93
用途/実績例 半導体工場 ガス供給ライン
ガス製造工場

カタログパーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

取扱企業パーティクルカウンター 半導体特殊材料ガス用 KS-93

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リオン株式会社

●「騒音計、振動計、地震計、周波数分析器、FFT分析器、粘度計」の製造・販売 ●「液中/気中 パーティクルカウンタ」の製造・販売

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