0.15μｍの粒子を、フォトレジスト溶液やSOG などから測定可能
液中パーティクルカウンター KS-41A
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定
国内製造・国内メンテナンスの充実したサポート体制
基本情報パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
●測定粒径範囲：0.15 μm～0.5 μm (10粒子径同時測定)
●測定粒子径は任意設定可能
●液漏れセンサ内蔵本体内で液漏れ発生時に警報を出力
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | KS-41A |
| 用途／実績例 | 半導体露光工程 レジスト・SOG使用ライン 半導体工場の薬液受け入れ検査ライン レジスト・SOG製造メーカーの出荷検査ライン 等 |
カタログパーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
取扱企業パーティクルカウンター液中 レジスト0.15μm KS-41A
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