非接触式 3次元解析 広視野表面形状測定装置「SP-530」
非接触式 3次元解析 広視野表面形状測定装置「SP-530」 http://www.ipros.jp/public/product/image/a51/2000170799/IPROS6817238941233793995.png 【標準仕様】 ○光干渉法による非接触高精度3次元測定 →高さ測定分解能:最高0.01m ○新しい信号処理アルゴリズム搭載による高速Z軸走査 →MAX:100μm/min ○最大視野:約φ30mm(オプション:φ50mm) ○広い測定レンジ →高さ測定レンジ:100μm ○透明膜測定ソフト →透明膜の表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 株式会社溝尻光学工業所 測定・分析 > 電子計測器 > 光学測定器
  • 膜厚傾斜ウェハ、半導体・FPD、膜厚段差測定、フィルム表面粗さ測定に最適
    株式会社溝尻光学工業所
    「SP-530」は、マイケルソン干渉計の光学方式を用いた白色干渉縞による超高速測定が可能な表面形状測定装置です。
    新しい信号処理アルゴリズムを搭載し、高速Z軸走査を実現しました(100μm/min)。

    【特徴】
    ○視野サイズは、約φ30mm(オプションでφ50mmも対応可能)
    ○透明膜測定ソフトにて、透明膜の表面形状、裏面形状、膜厚分布の
     同時測定も可能
    ○半導体IC、フィルム、光学部品、LCD基板、PDP基板、MEMSなどの
     3次元微細形状の非接触測定に最適

    詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報非接触式 3次元解析 広視野表面形状測定装置「SP-530」

【標準仕様】
○光干渉法による非接触高精度3次元測定
→高さ測定分解能:最高0.01m
○新しい信号処理アルゴリズム搭載による高速Z軸走査
→MAX:100μm/min
○最大視野:約φ30mm(オプション:φ50mm)
○広い測定レンジ
→高さ測定レンジ:100μm
○透明膜測定ソフト
→透明膜の表面形状・裏面形状・膜厚分布の同時測定が可能

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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発売日

取扱い中

用途/実績例

【用途】
○半導体IC、フィルム、光学部品、LCD基板、PDP基板、MEMSなどの
 3次元微細形状の非接触測定に最適

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

よく使用される業種

化学、ガラス・土石製品、セラミックス、樹脂・プラスチック、鉄/非鉄金属、産業用電気機器、電子部品・半導体、光学機器、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、IT・情報通信、製造・加工受託、その他製造、教育・研究機関、その他

カタログ非接触式 3次元解析 広視野表面形状測定装置「SP-530」

  • 【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
    「SP-530」は、マイケルソン干渉計の光学方式を用いた白色干渉縞による超高速測定が可能な表面形状測定装置です。
    新しい信号処理アルゴリズムを搭載し、高速Z軸走査を実現しました(100μm/min)。

取扱会社非接触式 3次元解析 広視野表面形状測定装置「SP-530」

オプチカルフラット、観測用窓ガラス等に代表されます大型精密研磨をはじめ、光学系を用いた平面度検査器、エリプソメータ、複屈折測定装置、シュリーレン装置、及び光弾性検査器等の高精度の測定装置の製造・販売をさせていただいております。

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