株式会社MSAファクトリー カスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」

カスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」 http://www.ipros.jp/public/product/image/87a/2000172552/IPROS6073418173773646482.png 【仕様】 ○プローブ形式:プローブカード、マニュピレータ各種 ○搭載サイズ:ウエハ 6”以下、基板 □150mm ○ステージ温度制御:オプション-40~+200,室温~+200℃,室温~+400℃ ○移動分解能:0.01mm    ○除振台:オプション  ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 株式会社MSAファクトリー 測定・分析 > 検査機器・装置 > その他検査機器・装置 お問い合わせ下さい。
マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能です。

カスタムホット・クールプローバステージ「PN-121-C型」は、ウエハ、ガラス基板、フィルムなどMSAのホットチャック(PHシリーズ)との組合せにより、高温(+400℃)~低温(-40℃)までの温度試験・評価が可能です。
カスタム対応品ですので、プローブカード、マニュピレータなどとの組合せができ、OEMにも対応いたします。
BESTな評価システムを製作いたします。

【特徴】
○カスタムプローバステージ
○デバイス、オンウエハ 評価システムの構築が可能
○装置メーカ様OEM対応品
○マニュピレータ、プローブカードなど多種のプローブに対応可能
○PH201-400は、最高温度400℃、6インチウエハ

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報カスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」

【仕様】
○プローブ形式:プローブカード、マニュピレータ各種
○搭載サイズ:ウエハ 6”以下、基板 □150mm
○ステージ温度制御:オプション-40~+200,室温~+200℃,室温~+400℃
○移動分解能:0.01mm   
○除振台:オプション 

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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カタログカスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」

取扱企業カスタムホット・クールプローバステージ「PSXY-100」

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株式会社MSAファクトリー

数多いセミカスタムアイテムより選択し、カスタマイズすることにより自社にあった生産機器・治具を低価格にて提供する新システムです。

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