装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現可能です。
WETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサーは、基板をスピン回転及びスプレーにて洗浄/リンス後、高速スピン回転で乾燥を行ないます。
装置を複数台配置することにより、容易にマルチプロセスを実現することができます。（例：現像→エッチング→洗浄、乾燥）
株式会社電子技研の洗浄等のスピンをはじめとするWET装置技術は、ウエハ・ガラス基板等をはじめ、プリント基板、金属基板等の洗浄、その他多用途で半導体・LCD業界、医療業界、食品業界他、幅広い業界のニーズに対応できます。
【特徴】
○優れたパーティクル除去性能
○高速スピン洗浄によるタクトタイムの大幅短縮が可能
○省スペースによるコンパクト化を実現
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基本情報WETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサー
【特徴】
○スピン/遠心力により、優れた均一性と再現性、除去性能
○無駄を省いた小フットプリント
（W1000×D1500×H110）～W1800×D2400×H2000
○ワークサイズ：160W×170L以下～730W×920L以下
【WET関連装置】
○マルチスピンプロセッサー
○枚葉スピンプロセッサー
○枚葉基板洗浄装置
○LCDマスク洗浄装置
○LCDカセット洗浄装置
○LCD枚葉エッチング装置
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カタログWETプロセス装置 枚葉スピンプロセッサー
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