サンユー電子株式会社 TMPタイプ 真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80

TMPタイプ 真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80 http://www.ipros.jp/public/product/image/ae7/2000175580/IPROS4666724723616277278.png 【仕様】 [排気装置:SVC-700TMSG] ○排気操作:全自動 ○到達圧力:2×10⁻⁴Pa以下 ○蒸着用電極:2組 ○ガラスベルジャー:内径φ160mm×215mmH ○寸法(W/D/H):340/460/544mm [蒸着電源:SVC-7PS80] ○ヒーター電源:12V 45A/7V 80A ○寸法(W/D/H):340/410/205.5mm サンユー電子株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 蒸着装置 抵抗加熱式真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80 お問い合わせください
簡単操作のTMP排気システム採用!拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置

「SVC-700TMSG/7PS80」は、TMP+RP型の抵抗加熱式真空蒸着装置です。コンパクトさと使い勝手の良さにこだわった装置です。
排気装置「SVC-700TMSG」と蒸着電源「SVC-7PS80」から構成されています。
シンプルかつイージーオペレーションで、将来の機能拡張までをも考慮しています
豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。
また、専用オプションにより、有機物の薄膜作製実験にも対応。
グローブボックス内設置に関するご相談も承ります。

【特長】
○コンパクトサイズ
○拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置
○簡単操作のTMP排気システム採用
○豊富なオプション
○グローブボックス内への設置も対応可能

基本情報TMPタイプ 真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80

【仕様】
[排気装置:SVC-700TMSG]
○排気操作:全自動
○到達圧力:2×10⁻⁴Pa以下
○蒸着用電極:2組
○ガラスベルジャー:内径φ160mm×215mmH
○寸法(W/D/H):340/460/544mm
[蒸着電源:SVC-7PS80]
○ヒーター電源:12V 45A/7V 80A
○寸法(W/D/H):340/410/205.5mm

価格 お問い合わせください
価格帯 100万円以上 500万円未満
納期 お問い合わせください
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 抵抗加熱式真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80
用途/実績例 【用途・実績例】
○電極用途等の各種金属材料の蒸着
○有機物蒸着実験(専用オプションが必要)
○グローブボックス内におけるLi等の蒸着
○真空実験 etc.

カタログTMPタイプ 真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80

取扱企業TMPタイプ 真空蒸着装置 SVC-700TMSG/7PS80

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真空応用機器及び電子顕微鏡周辺機器の開発/設計/製造/販売

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