PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用変位計として高い評価を得ております。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。
研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねております。
ご使用環境に応じて、ご提案させていただきます。
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PS-IAの詳細が掲載されているユニパルス総合カタログ無料進呈いたします。
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【株式会社ナノテックスはユニパルス株式会社と合併しました。】
基本情報静電容量式非接触変位計 PS-IA
AC100VまたはDC24Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途にご使用いただけます。
■主な特長
○標準測定レンジ30μm～3000μmの幅広いラインアップ
○導体であれば材質により感度が変わらない
○表面粗さの影響を受けない
○高い直線性：±0.05％以下
○低ノイズ：0.002％/FS（rms）以下
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| 用途／実績例 | ■ アプリケーション例 面ぶれ測定 厚み、平面度測定 ステージ移送量測定、位置決め制御 ピエゾステージの閉ループ制御 ブレーキディスクの磨耗量測定 ウェハーの厚み、平面度、平坦度測定 回転体のランナウト測定 顕微鏡対物レンズのオートフォーカスセンサ |
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