アールエムテック株式会社 カフマン グリッドレス(エンドホール型) イオンソース
- 最終更新日：2019-09-19 14:28:57.0
- 印刷用ページ
The compact low profi le eH series of broad beam ion sources are available in different sizes which covers both R&D and high yield production requirements.
Large ion beam currents meet critical arrival ratios for high deposition rate processes.
Low energy ions minimize ion bombardment damage to surfaces and interfaces.
The broad divergent beam improves throughput by uniformly covering a wide deposition zone.
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
※こちらのカタログは英語のカタログになります。
基本情報カフマン グリッドレス(エンドホール型) イオンソース
【特長】
○Removable anode module for bench-top maintenance
○Self aligning anode module for simple reinstallation
○Double contoured anode for optimized plasma discharge
○Thermally decoupled magnet system
○Enhanced gas distribution for effi cient gas management
○Shielded insulators for lower maintenance
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
※こちらのカタログは英語のカタログになります。
| 価格情報 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。 |
カタログカフマン グリッドレス(エンドホール型) イオンソース
取扱企業カフマン グリッドレス(エンドホール型) イオンソース
-
-
真空業界における専門技術商社として、真空成膜装置・薄膜材料・イオンソース及び同応用製品、GIB応用製品などの販売、保守サービスなど、お客様のニーズに合わせたトータルなサービスの提案・提供をしています。特にガスクラスターイオンビームの分野では他社の追随を許さぬ製品です。 【デモテスト照射】GCIB、イオンビームエッチングのデモテスト行っています。 真空成膜装置の排気能力向上に利用されるサップコールド社の冷凍機は、弊社相模原サービスセンターで全数出荷前テストを行い、日本及び中国、台湾、東南アジアでご使用いただいております。 また、真空装置に使用される真空ポンプのオーバーホールを相模原サービスセンターで行っています。
カフマン グリッドレス(エンドホール型) イオンソースへのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
