藤倉ゴム工業株式会社 超精密減圧弁  「RS/RRシリーズ」

超精密減圧弁  「RS/RRシリーズ」 http://www.ipros.jp/public/product/image/99a/2000185126/IPROS8613455594866646933.jpg 圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を採用。 ● 優れた特性   リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。   ● マニホールド対応   マニホールド配管が可能です。(フッ素ゴム製専用パッキン付属)   ● 高精度   高精度の圧力制御が可能です。(感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.)   ● 長期圧力安定性   一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しません。 クリーン仕様 ● 部品構成はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。接ガス部は全て純水洗浄・無潤滑で組立しておりますので通過エアへ油分の混入がありません。 リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。 藤倉ゴム工業株式会社 機械部品 > 油空水圧機器 > 空圧機器 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
高精度かつ優れた分解能、圧力特性に特化したエアレギュレータ

●独自構造により微細な圧力調整が簡単にできます。
●リリーフ感度が優れている為,高精度な圧力制御が可能です。
●外部信号による調圧に対応した機種も取り揃えております。

基本情報超精密減圧弁  「RS/RRシリーズ」

圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を採用。

● 優れた特性
  リリーフ特性、圧力特性、流量特性が非常に優れています。
 
● マニホールド対応
  マニホールド配管が可能です。(フッ素ゴム製専用パッキン付属)
 
● 高精度
  高精度の圧力制御が可能です。(感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.)
 
● 長期圧力安定性
  一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しません。

クリーン仕様
● 部品構成はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。接ガス部は全て純水洗浄・無潤滑で組立しておりますので通過エアへ油分の混入がありません。
リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続できますので、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気できます。

価格 数量によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
※数量によって納期が変動しますので、お気軽にお問い合わせください。
発売日 取扱い中
用途/実績例 半導体、FPD製造装置向け

● 自重キャンセル用エアシリンダの圧力制御
● 精密押し圧制御用エアシリンダの圧力制御
● 薬液タンクの圧力制御
● 空気バネの圧力制御

詳細情報超精密減圧弁  「RS/RRシリーズ」

クリーンルーム対応品。
部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。

カタログ超精密減圧弁  「RS/RRシリーズ」

取扱企業超精密減圧弁  「RS/RRシリーズ」

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藤倉ゴム工業株式会社

当社の主要製品 【工業用品】 ダイヤフラム、BFダイヤフラム、シール部品、Oリング、アンブレラ、ダックビル、防振ゴム、水ガバナ、ガスケット 【制御機器】 エアシリンダ、レギュレータ(減圧弁)、流量調整弁、チェック弁、リリーフ弁、除振台、荷重制御ユニット、受託設計・組立 【電気材料】 超低硬度材料、各種機能性テープ、常温収縮テープ、導電・絶縁材料、風力発電機器用ブレード保護シート 【引布】 ゴム引布、極薄ゴムシート、接着・粘着処理、ラテックス 【印刷材料】 印刷用ブランケット 【加工品】 船舶用救命設備、航空機用救命設備、コンサベータ、産業用ゴム資材 【スポーツ用品】 ゴルフ用カーボンシャフト、各種ゴルフグッツ 【その他】 マグネシウム電池、産業用CFRP、荷重センサ、アウトドア用品

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