ビームフラックスモニターは小型B・Aゲージをセンサーとして分子線のビーム強度を測定するものです。MBE装置等にて使用されます。
回転導入期を使用したコンパクトな設計でICF-70サイズの取付けフランジを実現。お客様の仕様に合わせてストローク等変更可能です。
【仕様】
○センサー：ミニチュアB-Aゲージ
○回転角度：±180℃
○取付けフランジ：ICF-70(タップ付）
○ベーキング温度：200℃(コネクタ部除く）
○オプション：上下機構
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報ビームフラックスモニター 「KFM-70」
【特徴】
○センサーには、多数の真空装置で実績のある、
キャノンアネルバ製のミニチュアゲージを採用
○取付けフランジはICF-70
○シールドカバーの設置により、センサーへの汚染を最小限に抑制
○アナログ出力が可能
○200℃までのベーキングが可能
○表面処理により、構成部品からのガス放出が微少
○回転機構による180℃の回転で簡単にフラックス強度を測定可能
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせ下さい。 |
|---|---|
| 納期 |
お問い合わせください
※お問い合わせ下さい。 |
| 用途／実績例 | ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
カタログビームフラックスモニター 「KFM-70」
取扱企業ビームフラックスモニター 「KFM-70」
-
-
最先端技術の研究開発用精密機器の設計、開発、製造、販売。 ◆真空装置の機器・部品 ◆低温機器類の装置・部品 ◆科学機器 ◆精密部品 これらの設計開発、製作、販売及び引渡し後の保守、修理、改造、移設 【 製品一例 】 ◆真空チャンバー ◆真空部品（フランジ・継手類、他） 《ＰＶＤ／ＣＶＤ装置》 ◆有機ＥＬ材料開発用蒸着装置・機器 ◆有機ＴＦＴ開発用蒸着装置・機器 ◆有機薄膜太陽電池用蒸着装置・機器 ◆有機・金属蒸着セル ◆分子線エピタキシー装置（ＭＢＥ） （化合物半導体・窒化物・酸化物） ◆有機金属気相成長装置（ＣＶＤ） 《表面分析・評価装置》 ◆電界イオン顕微鏡装置（ＦＩＭ） ◆電子エネルギー分析システム（ＣＭＡ） ◆ＴＥＭホルダー（加熱／低温） ◆ＵＨＶレーザー顕微鏡装置 ◆３次元アトムプローブ装置（３ＤＡＰ）
ビームフラックスモニター 「KFM-70」へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。
