MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.)

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

中国製、世界中で実績があり、日本国内も大変実績があります。
アメリカ輸入濾過材使用、品質が保証。

関連リンク - http://www.airytech.com/en/index.html

基本情報MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

VEECOフィルターシリーズ製品はＶＥＥＣＯ　ＭＯＣＶＤ装置の専用の排気ろ過のために設計し、アメリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２シリーズは2回ろ過プロセスを採用、ろ過チャンバーの長さを十分利用できる。

アメリカから輸入したガラス繊維ろ紙を使用、隙間分部が均一、ろ紙厚く、透過性よく、差圧低く、MOCVD装置の保護機能もある。
優れる強度があり、耐高温、耐食性、MOCVDの排気ろ過環境に最適。

1、寸法：　高さ：322mm，　内径：233mm，外径：359mm
2、Oリング：　内径：270mm，外径：340mm。
3、ろ過精度：粗いろ過100um，微細ろ過25um，全体ろ過効率15um@98%。
4、有効ろ過面積：粗いろ過3.456m2，微細ろ過3.456m2，1セット全体ろ過面積6.912 m2
5、適用温度：＜400℃。
6、包装：1本粗いろ過+1本微細ろ過
交換周期：40days