エスオーエル株式会社 平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】
- 最終更新日:2015-04-06 12:45:40.0
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MSP150は、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、ウェーハトレイ(サセプタ)、スクロールコンプレッサー等の測定に使用いただいております。品質管理、出荷検査に最適な装置です。
基本情報平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】
最大測定範囲:φ150mm
最大測定高さ:60mm
測定データポイント:約78万5千点
測定分解能:0.01µm
測定精度(Accuracy):【平面度】0.060µm【平行度】0.100µm【深さ】0.250µm
繰り返し精度(Repeatability):【平面度】0.02µm【平行度】0.025µm【深さ】0.100µm
測定時間:30~60秒
価格 |
- ※お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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価格帯 | 1000万円以上 5000万円未満 |
納期 |
お問い合わせください
※6か月 |
発売日 | 取扱い中 |
型番・ブランド名 | FlatMaster MSP150 (Multi Surface Profiler) |
用途/実績例 | <測定サンプル例> スクロールコンプレッサー、自動車用燃料ポンプ、ショックアブソーバー部品、 インジェクター部品、ハードディスク、HDD部品 燃料電池用セパレータ、ナノインプリント、半導体ウェーハ、CVD用サセプター等 <装置導入実績> ・HDD業界 ・自動車業界 ・電機業界 ・半導体業界等 ※弊社ホームページより、測定事例をご覧いただけます。 |
詳細情報平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】
ウェーハ測定画像
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平面度だけでなく、厚み、厚みムラも測定可能!
スクロールコンプレッサー測定画像
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渦巻状の形状も、測定可能です。
カタログ平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】
MSP40/150/300【表面形状(平面度・平行度・高さ)測定機】
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【TROPEL(トロペル) 平面度・高さ・平行度測定機】
〜非接触表面形状測定機(平面度・平行度・高さ/深さ測定)ソリューション〜
高精度平面度測定で有名な米国CorningTropel社から
新製品の登場です。高さの異なる複数面の平面度を一括で測定できます。また、それぞれの平行度、各面の高さ/深さ測定も可能です(今まではできなかった、奥まった面の測定が可能になりました)。
段差は 60 mmまで測定可能(機種によっては最大300 mmの深さまで可能)。
Tropel社独自(取得済み特許は11個!)の周波数解析を使用。
鏡面以外に切削面、研削面の測定も可能です。
装置のラインナップは2機種
○MSP40
○MSP150
※ それぞれφ36mm、φ150mmまでの範囲全面を一括測定します(約60秒で、400万ポイントのデーターを取得)。
※ デモ機完備。測定例に関しては弊社へお問い合わせください。
あるいは本イプロスからお問い合わせください。PDFダウンロード [PDF:2MB]このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。 電子ブックの閲覧方法はこちら
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取扱企業平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】
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