エスオーエル株式会社 平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】

平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】 http://www.ipros.jp/public/product/image/a42/2000196803/IPROS1095685029061737328.png 最大測定範囲:φ150mm 最大測定高さ:60mm 測定データポイント:約78万5千点 測定分解能:0.01µm 測定精度(Accuracy):【平面度】0.060µm【平行度】0.100µm【深さ】0.250µm 繰り返し精度(Repeatability):【平面度】0.02µm【平行度】0.025µm【深さ】0.100µm 測定時間:30~60秒 エスオーエル株式会社 測定・分析 > 検査機器・装置 > その他検査機器・装置 FlatMaster MSP150 (Multi Surface Profiler) -

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平坦度・平面度だけでなく、段差や平行度も一度に測定!業界唯一の多機能測定機です!ウェーハから金属部品まで幅広く測定できます。

MSP150は、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、ウェーハトレイ(サセプタ)、スクロールコンプレッサー等の測定に使用いただいております。品質管理、出荷検査に最適な装置です。

基本情報平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】

最大測定範囲:φ150mm
最大測定高さ:60mm
測定データポイント:約78万5千点
測定分解能:0.01µm
測定精度(Accuracy):【平面度】0.060µm【平行度】0.100µm【深さ】0.250µm
繰り返し精度(Repeatability):【平面度】0.02µm【平行度】0.025µm【深さ】0.100µm
測定時間:30~60秒

価格 -
※お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 1000万円以上 5000万円未満
納期 お問い合わせください
※6か月
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 FlatMaster MSP150 (Multi Surface Profiler)
用途/実績例 <測定サンプル例>
 スクロールコンプレッサー、自動車用燃料ポンプ、ショックアブソーバー部品、
 インジェクター部品、ハードディスク、HDD部品  燃料電池用セパレータ、ナノインプリント、半導体ウェーハ、CVD用サセプター等

<装置導入実績>
  ・HDD業界
  ・自動車業界
  ・電機業界 
  ・半導体業界等

※弊社ホームページより、測定事例をご覧いただけます。
よく使用される業種 樹脂・プラスチック、鉄/非鉄金属、産業用機械、民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、自動車・輸送機器、試験・分析・測定、製造・加工受託、教育・研究機関、サービス業

詳細情報平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】

ウェーハ測定画像

平面度だけでなく、厚み、厚みムラも測定可能!

スクロールコンプレッサー測定画像

渦巻状の形状も、測定可能です。

カタログ平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】

MSP40/150/300【表面形状(平面度・平行度・高さ)測定機】

【TROPEL(トロペル) 平面度・高さ・平行度測定機】
〜非接触表面形状測定機(平面度・平行度・高さ/深さ測定)ソリューション〜

 高精度平面度測定で有名な米国CorningTropel社から
新製品の登場です。高さの異なる複数面の平面度を一括で測定できます。また、それぞれの平行度、各面の高さ/深さ測定も可能です(今まではできなかった、奥まった面の測定が可能になりました)。

 段差は 60 mmまで測定可能(機種によっては最大300 mmの深さまで可能)。
Tropel社独自(取得済み特許は11個!)の周波数解析を使用。
鏡面以外に切削面、研削面の測定も可能です。

装置のラインナップは2機種
○MSP40
○MSP150
 ※ それぞれφ36mm、φ150mmまでの範囲全面を一括測定します(約60秒で、400万ポイントのデーターを取得)。

※ デモ機完備。測定例に関しては弊社へお問い合わせください。
あるいは本イプロスからお問い合わせください。

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MSP40/150/300【ウェーハトレイ測定事例】

MSPで、ウェーハトレイを測定したデータです。平面度、平行度を同時に測定できます。

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MSP40/150/300【基板SORI・TTV・厚み測定事例】

MSPで、基板のSORI、TTV、厚みを同時に測定したデータです。

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CorningTropel社製平面度・粗さ測定機総合カタログ

金属部品、機械部品、ウェーハ、フォトマスク等の平面度測定、粗さ測定が可能な装置を取り揃えています。
基本仕様を記載したカタログです。

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MSP40/150/300【測定事例:段差のある面の平面度測定】

段差のある測定物の平面度・平行度・段差測定データです。

PDFダウンロード [PDF:537KB]
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取扱企業平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【1台3役!】

エスオーエル株式会社

平面度測定機、三次元測定機、X線CT寸法測定機の販売,輸出入,アプリケーション開発,技術サポート,および保守サービス業務

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