エスオーエル株式会社平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【１台３役！】

最終更新日：2015/04/06
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平坦度・平面度だけでなく、段差や平行度も一度に測定！業界唯一の多機能測定機です！ウェーハから金属部品まで幅広く測定できます。

MSP150は、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、ウェーハトレイ（サセプタ）、スクロールコンプレッサー等の測定に使用いただいております。品質管理、出荷検査に最適な装置です。

基本情報平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【１台３役！】

最大測定範囲：φ150mm
最大測定高さ：60mm
測定データポイント：約78万5千点
測定分解能：0.01µm
測定精度（Accuracy)：【平面度】0.060µm【平行度】0.100µm【深さ】0.250µm
繰り返し精度（Repeatability）：【平面度】0.02µm【平行度】0.025µm【深さ】0.100µm
測定時間：30～60秒

価格	- お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯	1000万円以上 5000万円未満
納期	お問い合わせください ※6か月
型番・ブランド名	FlatMaster MSP150 (Multi Surface Profiler)
用途／実績例	＜測定サンプル例＞　スクロールコンプレッサー、自動車用燃料ポンプ、ショックアブソーバー部品、　インジェクター部品、ハードディスク、ＨＤＤ部品　　燃料電池用セパレータ、ナノインプリント、半導体ウェーハ、CVD用サセプター等＜装置導入実績＞　　・ＨＤＤ業界　　・自動車業界　　・電機業界　　　・半導体業界等 ※弊社ホームページより、測定事例をご覧いただけます。