エスオーエル株式会社平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【１台３役！】

最終更新日：2015-04-06 12:45:40.0
印刷用ページ

平坦度・平面度だけでなく、段差や平行度も一度に測定！業界唯一の多機能測定機です！ウェーハから金属部品まで幅広く測定できます。

MSP150は、平面度・平行度・段差を一度に全面一括で測定する装置です。CorningTropel社独自の手法、「周波数解析」の技術を用いた装置で、ウェーハトレイ（サセプタ）、スクロールコンプレッサー等の測定に使用いただいております。品質管理、出荷検査に最適な装置です。

基本情報平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【１台３役！】

最大測定範囲：φ150mm
最大測定高さ：60mm
測定データポイント：約78万5千点
測定分解能：0.01µm
測定精度（Accuracy)：【平面度】0.060µm【平行度】0.100µm【深さ】0.250µm
繰り返し精度（Repeatability）：【平面度】0.02µm【平行度】0.025µm【深さ】0.100µm
測定時間：30～60秒

価格	- ※お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯	1000万円以上 5000万円未満
納期	お問い合わせください ※6か月
発売日	取扱い中
型番・ブランド名	FlatMaster MSP150 (Multi Surface Profiler)
用途／実績例	＜測定サンプル例＞　スクロールコンプレッサー、自動車用燃料ポンプ、ショックアブソーバー部品、　インジェクター部品、ハードディスク、ＨＤＤ部品　　燃料電池用セパレータ、ナノインプリント、半導体ウェーハ、CVD用サセプター等＜装置導入実績＞　　・ＨＤＤ業界　　・自動車業界　　・電機業界　　　・半導体業界等 ※弊社ホームページより、測定事例をご覧いただけます。

詳細情報平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【１台３役！】

ウェーハ測定画像

: 平面度だけでなく、厚み、厚みムラも測定可能！

スクロールコンプレッサー測定画像

: 渦巻状の形状も、測定可能です。

カタログ平面度・平行度・段差測定機『MSP150』【１台３役！】

MSP40/150/300【表面形状（平面度・平行度・高さ）測定機】

: 【TROPEL(トロペル) 平面度・高さ・平行度測定機】
〜非接触表面形状測定機（平面度・平行度・高さ／深さ測定）ソリューション〜

　高精度平面度測定で有名な米国CorningTropel社から
新製品の登場です。高さの異なる複数面の平面度を一括で測定できます。また、それぞれの平行度、各面の高さ／深さ測定も可能です（今まではできなかった、奥まった面の測定が可能になりました）。

　段差は 60 mmまで測定可能（機種によっては最大300 mmの深さまで可能）。
Tropel社独自（取得済み特許は１１個！）の周波数解析を使用。
鏡面以外に切削面、研削面の測定も可能です。

装置のラインナップは２機種
○ＭＳＰ４０
○ＭＳＰ１５０
　※　それぞれφ36mm、φ150mmまでの範囲全面を一括測定します（約60秒で、400万ポイントのデーターを取得）。

※　デモ機完備。測定例に関しては弊社へお問い合わせください。
あるいは本イプロスからお問い合わせください。

PDFダウンロード [PDF:2MB]

このカタログを電子ブック形式で閲覧できます。電子ブックの閲覧方法はこちら

電子ブックをすべて見る