エスオーエル株式会社 ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【大きなSORI】

ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【大きなSORI】 http://www.ipros.jp/public/product/image/363/2000201813/IPROS7774466143763346535.jpg 測定項目:SORI、BOW、WARP、TTV、LTV、Microwaviness(表面うねり)等 測定可能面状態:アズスライス、ラップ、ポリッシュ 測定範囲:2"~8" 測定感度:1.5~8µm/fringe 最大測定データポイント:約25万点 測定分解能:0.01µm 測定精度(Accuracy):0.10µm以下 繰り返し精度(Repeatability):0.025µm(1σ)以下 測定時間:約30秒 エスオーエル株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 半導体検査/試験装置 FM200Wafer -
ウェーハの大きなSORI測定に最適です!約200µmのSORIまで測定可能。研究開発のお役に立てる業界標準平面度測定機です!

FlatMaster-Waferは、ウェーハ大きなSORI測定に最適な装置です。
測定感度を3段階で変更可能なため、約200µmのSORIまで測定可能です。
化合物半導体業界標準機としてご利用いただいています。

<特長>
・アズスライス~ポリッシュウェーハの測定が可能。
・測定領域の表示が可能。
・表面うねりの解析等、ソフトウェアの機能が充実。

基本情報ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【大きなSORI】

測定項目:SORI、BOW、WARP、TTV、LTV、Microwaviness(表面うねり)等
測定可能面状態:アズスライス、ラップ、ポリッシュ
測定範囲:2"~8"
測定感度:1.5~8µm/fringe
最大測定データポイント:約25万点
測定分解能:0.01µm
測定精度(Accuracy):0.10µm以下
繰り返し精度(Repeatability):0.025µm(1σ)以下
測定時間:約30秒

価格 -
※お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 1000万円以上 5000万円未満
納期 お問い合わせください
※4ヶ月
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 FM200Wafer
用途/実績例 《装置導入実績》
  ・化合物ウエハ業界
  (GaAs、GaN、SiC等)
  ・酸化物ウエハ(Lt、Ln、ZnO等)
  ・HDD用アルチック基盤
    ※上記では業界標準機として使用されています
よく使用される業種 電子部品・半導体、教育・研究機関

詳細情報ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【大きなSORI】

ウェーハ測定画像

TTV、厚み測定データです。

LTV測定

サイト解析が可能です。

TTV測定

測定領域を表示することが可能です。

大きなSORI測定

SORIの大きなウェーハも測定することが可能です。

表面うねり測定データ

表面うねり(Microwaviness)の測定データです。

カタログウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【大きなSORI】

FlatMaster200-Wafer【測定事例:大きなSORI、粗面の測定】

FlatMaster200-Wafer【測定事例:大きなSORI、粗面の測定】 表紙画像

FlatMaster200-WaferでSORIを測定したデータです。

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取扱企業ウェーハ平面度測定機『FM200Wafer』【大きなSORI】

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平面度測定機、三次元測定機、X線CT寸法測定機の販売,輸出入,アプリケーション開発,技術サポート,および保守サービス業務

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