エスオーエル株式会社 白色干渉計粗さ測定機『FM-Ra』【粗面~鏡面測定】

白色干渉計粗さ測定機『FM-Ra』【粗面~鏡面測定】 http://www.ipros.jp/public/product/image/1e9/2000201843/IPROS5859297970252766062.png 測定視野:1mm角(標準)、0.2mm角、0.5mm角、3.2mm角(オプション) Z軸分解能:0.1nm 測定項目:Ra、Ry、Sa、St等 測定精度:0.2nm(1σ) 測定時間:約15秒 データ数:最大約100万点 エスオーエル株式会社 測定・分析 > 検査機器・装置 > 基板検査装置 FlatMaster-Ra

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粗面~鏡面ウェーハの粗さ測定に最適な装置です! 1台で工程管理が可能!今まで諦めていた測定におすすめです。デモ測定可能です。

FM-Raは、主に半導体ウェーハの表面粗さを測定する装置です。面状態の異なるウェーハでも、段取り替えなしで続けて測定することが可能です!

<特長>
・アズスライス~ポリッシュ面を測定可能。
・ウェーハ工程管理に最適。
・セッティングが、置くだけで簡単。

基本情報白色干渉計粗さ測定機『FM-Ra』【粗面~鏡面測定】

測定視野:1mm角(標準)、0.2mm角、0.5mm角、3.2mm角(オプション)
Z軸分解能:0.1nm
測定項目:Ra、Ry、Sa、St等
測定精度:0.2nm(1σ)
測定時間:約15秒
データ数:最大約100万点

価格 ※お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 1000万円以上 5000万円未満
納期 お問い合わせください
※3か月
発売日 取扱い中
型番・ブランド名 FlatMaster-Ra
用途/実績例 半導体ウェーハ業界にてご使用いただいております。
よく使用される業種 電子部品・半導体

カタログ白色干渉計粗さ測定機『FM-Ra』【粗面~鏡面測定】

CorningTropel社製平面度・粗さ測定機総合カタログ

CorningTropel社製平面度・粗さ測定機総合カタログ 表紙画像

金属部品、機械部品、ウェーハ、フォトマスク等の平面度測定、粗さ測定が可能な装置を取り揃えています。
基本仕様を記載したカタログです。

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白色干渉計粗さ測定機FlatMaster-Ra【測定事例:アズスライス~ポリッシュ品測定】

白色干渉計粗さ測定機FlatMaster-Ra【測定事例:アズスライス~ポリッシュ品測定】 表紙画像

FlatMaster-Raでのアズスライス、ポリッシュ品測定データです。

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取扱企業白色干渉計粗さ測定機『FM-Ra』【粗面~鏡面測定】

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エスオーエル株式会社

平面度測定機、三次元測定機、X線CT寸法測定機の販売,輸出入,アプリケーション開発,技術サポート,および保守サービス業務

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