TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）ジェーイーエル

真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。

業界最小クラス、装置の小型化が可能
当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン
アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能

基本情報TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）

ロボット仕様
ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM
被搬送物 2インチシリコンウェーハ
ウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式
機械構造形式円筒座標型制御軸 3軸
モータタイプエンコーダ付き2相パルスモータ
動作範囲アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
±119mm 360度 20mm
搬送速度アーム(R軸) 旋回角度(θ軸) 上下ストローク(Z軸)
230mm/sec 450度/sec 40mm/sec
繰り返し精度 ±0.1mm以内
クリーン対策磁性流体シール及びフィルタにより対策
耐真空度 1.33×10-6Pa
ユーティリティ電源：DC24V±10% 4A
質量ロボット本体約7kg
コントローラ仕様
コントローラ型式 C4301シリーズ
インタフェース RS232C, パラレルフォトI/O
本仕様はTSVCR3060N-020-PMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。