SSY-10010 EFEM
SSY-10010 EFEM http://www.ipros.jp/public/product/image/5dd/2000202393/IPROS8451277437342478025.png 搬送物 150mmガラスウェーハ 処理枚数 140枚/h (装置側の処理時間は含みません) 動作範囲 ワーク中心距離 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 反転軸 672mm 335度 500mm 180度 搬送速度 (平均速度) アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 550mm/sec 300度/sec 300mm/sec 搬送速度 (最大速度) アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 900mm/sec 400度/sec 450mm/sec 反転ユニットなし 吸着搬送時 アーム 旋回角度 (θ軸) 上下ストローク (Z軸) 1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec 繰り返し精度 ±0.1mm以内 <システム> ワーク保持方式 吸着による保持 クリーン度 ISO Class2(ISO14644) フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く) 重量 約350kg ユーティリティ 電源:単相 AC200V 15A 真空:-53kPa以上(吸着チャック取付の場合) 株式会社ジェーイーエル 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置
  • EFEM
    株式会社ジェーイーエル
    300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。
    振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。
    振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。

    水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能
    Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能
    ロボットに反転軸を搭載することにより、下面処理の場合でも、処理面に接触することなく搬送が可能
    リストブロック部にマッピングセンサを搭載し、カセット内のウェーハを検出
    開閉ドアは開閉検出センサを設け、ロボット動作中はロックされ安全面にも配慮
    ガラス(透明ワーク)対応アライナ搭載(SAL3361GR)
    お客様の装置との取り合いは任意に変更可能(HOST通信については別途対応)
    お客様の要求仕様に合わせたカスタマイズが可能

基本情報SSY-10010 EFEM

搬送物 150mmガラスウェーハ
処理枚数 140枚/h (装置側の処理時間は含みません)
動作範囲 ワーク中心距離 旋回角度
(θ軸) 上下ストローク
(Z軸) 反転軸
672mm 335度 500mm 180度
搬送速度
(平均速度) アーム 旋回角度
(θ軸) 上下ストローク
(Z軸)
550mm/sec 300度/sec 300mm/sec
搬送速度
(最大速度) アーム 旋回角度
(θ軸) 上下ストローク
(Z軸)
900mm/sec 400度/sec 450mm/sec
反転ユニットなし
吸着搬送時 アーム 旋回角度
(θ軸) 上下ストローク
(Z軸)
1800mm/sec 540度/sec 500mm/sec
繰り返し精度 ±0.1mm以内

<システム>
ワーク保持方式 吸着による保持
クリーン度 ISO Class2(ISO14644)
フットプリント 640mm×835mm(タッチパネルを除く)
重量 約350kg
ユーティリティ 電源:単相 AC200V 15A 真空:-53kPa以上(吸着チャック取付の場合)

価格

-
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価格帯

納期

発売日

取扱い中

用途/実績例

半導体製造装置など

よく使用される業種

産業用機械、ロボット、機械要素・部品、電子部品・半導体、医薬品・バイオ

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