株式会社エーシングテクノロジーズ スプレーコーター ACingTec IS-8型
- 最終更新日:2021-05-21 14:53:16.0
- 印刷用ページ
立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター
MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。
※下記、弊社HomePage内のお問合せページから、ご連絡・お尋ね・ご相談いただけます。
基本情報スプレーコーター ACingTec IS-8型
【特長】
●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能
●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能
●コーティング液の利用効率が高い(従来スピンコートの数十倍程度)
●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能
●高メンテナンスを実現
【仕様】
●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ (他形状にも対応)
●ロボット搬送方式
●特殊スプレー方式
価格情報 | お問い合わせください。 |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | ACingTec IS-8型 |
用途/実績例 | ●MEMS ●SAWデバイス ●加速度センサー ●磁気ヘッド ●水晶デバイス ●圧力センサー ●インクジェットヘッド ●導波路 ●サーマルヘッド ●プロジェクター素子 ●その他 |
取扱企業スプレーコーター ACingTec IS-8型
スプレーコーター ACingTec IS-8型へのお問い合わせ
お問い合わせ内容をご記入ください。