株式会社エーシングテクノロジーズ スプレーコーター ACingTec IS-8型

立体構造デバイス用インライン式スプレーコーター

MEMS、SAWデバイス、バワーデバイス、カーエレクトロニクスセンサーなどの電子デバイスのために、インライン式スプレーコータを開発しました。試作から量産で培ったコーティング技術やノウハウを盛込んだ装置は、お客様のニーズに沿った最適なフォトレジストや保護膜、その他の機能膜処理を可能にします。

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基本情報スプレーコーター ACingTec IS-8型

【特長】
 ●微細な凹凸立体形状に均一なコーティング可能
 ●10nmから数100μmの広い範囲の応用が可能
 ●コーティング液の利用効率が高い(従来スピンコートの数十倍程度)
 ●エッジカバーの良好な薄膜コーティングが可能
 ●高メンテナンスを実現

【仕様】
 ●4インチ、6インチ、8インチウエハーサイズ (他形状にも対応)
 ●ロボット搬送方式
 ●特殊スプレー方式

価格情報 お問い合わせください。
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 ACingTec IS-8型
用途/実績例 ●MEMS
●SAWデバイス
●加速度センサー
●磁気ヘッド
●水晶デバイス
●圧力センサー
●インクジェットヘッド
●導波路
●サーマルヘッド
●プロジェクター素子
●その他

取扱企業スプレーコーター ACingTec IS-8型

株式会社エーシングテクノロジーズ 湘南藤沢研究所 

機能薄膜のコーティング試作(薄膜形成試作・開発支援)を始め、薄膜技術コンサルタント、MEMS関連(マイクロエレクトロデバイス・センサーデバイスなど)・半導体・エネルギー関連(燃料電池、リチウム、全固体電池、太陽電池他)の薄膜プロセス装置や材料をご提案しています。

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