装置　自律型ナノ製造装置片桐エンジニアリング

知的クラスター創成事業の一環として、名古屋大学と名古屋工業大学と共に共同開発

このプロジェクトは、「ナノテクものづくりクラスター」の形成に向けた研究プロジェクトです。プロジェクトの目的としては、名古屋大学が独自に開発した反応空間内の原子・分子濃度を測定するプラズマ診断技術をもとに計測用スマートセンサー、ナノパターニング技術について研究開発を行い、常に最適条件でのナノオーダーの超微細加工が自動的に行える「自律型ナノ製造装置」を開発することになります。

基本情報装置　自律型ナノ製造装置

【特徴】
○ナノレベルでの高精度微細加工や様々な基板上に機能性薄膜を室温近傍という低音で形成
○ラジカルの種類と密度をセンシングする超小型スマートセンサー（ラジカルモニタリングセンサー）、その情報をフィードバックする制御システムを搭載
○装置が自動的にプロセスを制御する次世代の製造装置

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用途／実績例	エレクトロニクス産業、機械加工産業、自動車産業、医療・バイオ産業、化学工業の幅広い産業分野 ●詳しくはお問い合わせください。