株式会社大日本科研 マスクレス露光装置「MXシリーズ」

マスクレス露光装置「MXシリーズ」 http://www.ipros.jp/public/product/image/1c6/2000204409/IPROS2572807510160921705.gif 【主な仕様】 ○型式:MX-1201/MX-1201/MX-1201E/MX-1204/MX-1702E ○最小線幅:5μm/5μm/3μm/1μm/10μm ○データ分解能:0.5μm/0.5μm/0.25μm/0.122μm/1.0μm ○最大基板サイズ(mm) →200x200/200x200/200x200/150x150/550x650 ○有効露光エリア(mm) →200x200/200x200/200x200/150x150/550x650 ○レーザ主波長(nm):405±5/375±5/405±5/375±5/405±5 ○露光スキャン速度(mm/s):43.9/43.9/22.5/10.9/92.2 ○光学エンジン搭載数:1/1/1/1/7 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 株式会社大日本科研 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置
マスクレス露光装置「MXシリーズ」 製品画像

マスクレス露光装置「MXシリーズ」 製品画像

半導体製造等の露光工程の納期短縮とコスト削減に貢献します。

半導体製造工程・マイクロセンサー(加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー)製造工程・プリント基板製造工程における露光技術は、フォトマスクを使用して、それを基盤に転写する方式が主流です。
一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)を用いた独自のポイントオブアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。
フォトマスクを使用しない露光方式では、世界最高レベル(1ミクロン以下)の露光精度を実現。
試作が容易になり、時間・コストの削減に貢献します。

【特徴】
○高価なマスクが不要となる
○マスクデータの外部流出防止
○描画パターンの設計から描画までの時間短縮
○描画パターンの設計変更が容易
○各基板の歪みに合わせた露光パターンの補正等が可能

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報マスクレス露光装置「MXシリーズ」

【主な仕様】
○型式:MX-1201/MX-1201/MX-1201E/MX-1204/MX-1702E
○最小線幅:5μm/5μm/3μm/1μm/10μm
○データ分解能:0.5μm/0.5μm/0.25μm/0.122μm/1.0μm
○最大基板サイズ(mm)
→200x200/200x200/200x200/150x150/550x650
○有効露光エリア(mm)
→200x200/200x200/200x200/150x150/550x650
○レーザ主波長(nm):405±5/375±5/405±5/375±5/405±5
○露光スキャン速度(mm/s):43.9/43.9/22.5/10.9/92.2
○光学エンジン搭載数:1/1/1/1/7

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格 ※お問い合わせください
価格帯 お問い合わせください
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発売日 取扱い中
用途/実績例 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
よく使用される業種 民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、IT・情報通信、製造・加工受託、その他製造、その他

カタログマスクレス露光装置「MXシリーズ」

マスクレス露光装置「MXシリーズ」

マスクレス露光装置「MXシリーズ」 表紙画像

【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
半導体製造工程・マイクロセンサー(加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー)製造工程・プリント基板製造工程における露光技術は、フォトマスクを使用して、それを基盤に転写する方式が主流です。
一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)を用いた独自のポイントオブアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。
フォトマスクを使用しない露光方式では、世界最高レベル(1ミクロン以下)の露光精度を実現。
試作が容易になり、時間・コストの削減に貢献します。

【特徴】
○高価なマスクが不要となる
○マスクデータの外部流出防止
○描画パターンの設計から描画までの時間短縮
○描画パターンの設計変更が容易
○各基板の歪みに合わせた露光パターンの補正等が可能

取扱企業マスクレス露光装置「MXシリーズ」

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○精密機器の設計・製作・販売 ○理化学機器、計測器、光学機器の設計・製作・販売

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