マスクレス露光装置「MXシリーズ」
マスクレス露光装置「MXシリーズ」 http://www.ipros.jp/public/product/image/1c6/2000204409/IPROS2572807510160921705.gif 【主な仕様】 ○型式:MX-1201/MX-1201/MX-1201E/MX-1204/MX-1702E ○最小線幅:5μm/5μm/3μm/1μm/10μm ○データ分解能:0.5μm/0.5μm/0.25μm/0.122μm/1.0μm ○最大基板サイズ(mm) →200x200/200x200/200x200/150x150/550x650 ○有効露光エリア(mm) →200x200/200x200/200x200/150x150/550x650 ○レーザ主波長(nm):405±5/375±5/405±5/375±5/405±5 ○露光スキャン速度(mm/s):43.9/43.9/22.5/10.9/92.2 ○光学エンジン搭載数:1/1/1/1/7 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 株式会社大日本科研 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > その他半導体製造装置
  • 半導体製造等の露光工程の納期短縮とコスト削減に貢献します。
    株式会社大日本科研
    半導体製造工程・マイクロセンサー(加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー)製造工程・プリント基板製造工程における露光技術は、フォトマスクを使用して、それを基盤に転写する方式が主流です。
    一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)を用いた独自のポイントオブアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。
    フォトマスクを使用しない露光方式では、世界最高レベル(1ミクロン以下)の露光精度を実現。
    試作が容易になり、時間・コストの削減に貢献します。

    【特徴】
    ○高価なマスクが不要となる
    ○マスクデータの外部流出防止
    ○描画パターンの設計から描画までの時間短縮
    ○描画パターンの設計変更が容易
    ○各基板の歪みに合わせた露光パターンの補正等が可能

    詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

基本情報マスクレス露光装置「MXシリーズ」

【主な仕様】
○型式:MX-1201/MX-1201/MX-1201E/MX-1204/MX-1702E
○最小線幅:5μm/5μm/3μm/1μm/10μm
○データ分解能:0.5μm/0.5μm/0.25μm/0.122μm/1.0μm
○最大基板サイズ(mm)
→200x200/200x200/200x200/150x150/550x650
○有効露光エリア(mm)
→200x200/200x200/200x200/150x150/550x650
○レーザ主波長(nm):405±5/375±5/405±5/375±5/405±5
○露光スキャン速度(mm/s):43.9/43.9/22.5/10.9/92.2
○光学エンジン搭載数:1/1/1/1/7

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格

※お問い合わせください

価格帯

納期


※お問い合わせください

発売日

取扱い中

用途/実績例

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

よく使用される業種

民生用電気機器、産業用電気機器、電子部品・半導体、IT・情報通信、製造・加工受託、その他製造、その他

カタログマスクレス露光装置「MXシリーズ」

  • 【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
    半導体製造工程・マイクロセンサー(加速度センサー、圧力センサー、温度センサー、ガスセンサー)製造工程・プリント基板製造工程における露光技術は、フォトマスクを使用して、それを基盤に転写する方式が主流です。
    一方、マスクレス露光装置「MXシリーズ」は、DMD(デジタル・マイクロミラー・デバイス)を用いた独自のポイントオブアレイ方式で、CADデータから直接露光することができます。
    フォトマスクを使用しない露光方式では、世界最高レベル(1ミクロン以下)の露光精度を実現。
    試作が容易になり、時間・コストの削減に貢献します。

    【特徴】
    ○高価なマスクが不要となる
    ○マスクデータの外部流出防止
    ○描画パターンの設計から描画までの時間短縮
    ○描画パターンの設計変更が容易
    ○各基板の歪みに合わせた露光パターンの補正等が可能

取扱会社マスクレス露光装置「MXシリーズ」

○精密機器の設計・製作・販売 ○理化学機器、計測器、光学機器の設計・製作・販売

マスクレス露光装置「MXシリーズ」へのお問い合わせ

お問い合わせ内容をご記入ください。

至急度[必須]

ご要望[必須]


  • あと文字入力できます。

動機[必須]

添付資料

お問い合わせ内容

あと文字入力できます。

【ご利用上の注意】
お問い合わせフォームを利用した広告宣伝等の行為は利用規約により禁止しております。
はじめてイプロスをご利用の方 はじめてイプロスをご利用の方 すでに会員の方はこちら
イプロス会員(無料)になると、情報掲載の企業に直接お問い合わせすることができます。
メールアドレス

※お問い合わせの際、以下の出展者へご連絡先(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されます。

株式会社大日本科研

マスクレス露光装置「MXシリーズ」 が登録されているカテゴリ

分類カテゴリから探す

  • 樹脂や金属など様々な材質のスペーサー等の機構部品 全78,000アイテム収録!総合カタログ最新版進呈
  • 多人数での双方向同時通話が可能 ワイヤレスインターカムシステム

最近チェックした情報

クリップ

気になる製品・カタログ・企業などがあったらクリップに保存しておくと便利です。

  • キーマンインタビュー