小型均一・平行光露光光源「デモ機あり」三永電機製作所

改良を重ねたオールマイティーな小型均一・平行光の露光用光源です。

UVEシリーズは、超高圧水銀ランプ250W～2000Wまで高性能インテグレーターを使用し、コリメーターレンズを通してワーク面にUV光を均一照射させることができます。
多種の照射径ユニットを取り揃えております。（100～400ｍ/ｍΦ）
※その他大面積はご相談下さい。

また、各種フィルター等もご要望によりご提案致します。
用途として、半導体ウェハ、水晶発振子等の電子部品の露光、マスクアライナー用光源、各種光学、露光実験装置として幅広く利用して頂いております。

【特徴】
○ハィパワー・コンパクト化を実現した独自の光学設計
○高安定・長寿命・オゾンレスランプ使用
○用途に応じた照射波長域の選択が可能
○自動化ラインに対応する豊富なリモート機能
○万全なノイズ防止対策

詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

関連リンク - http://www.san-eielectric.co.jp/roko1.htm

基本情報小型均一・平行光露光光源「デモ機あり」

【特徴】
○オールマイティーな小型均一・平行露光光源装置
○ランプアークモニター搭載
→ランプ交換時に簡易的に光軸の調整が行える
○90°ごとに照射ヘッドが可変可能
→目的・用途に合わせて照射角度が変えられる
○ハィパワー・コンパクト化を実現
○高安定・長寿命・オゾンレスランプ使用

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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用途／実績例	【用途】 [UV 接着用途] ○液晶ガラスの張り合わせ封止等 ○CD、DVDドライブの光ピックアップレンズや電子製品の接着 [フォトレジスト用途] ○各種マイクロデバイス(IC､水晶振動子､リードフレーム)のパターン露光 ○その他：シリコンウェハー用露光光源、各種光学実験用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。