研究開発用装置　成膜装置･グローブボックスエイエルエステクノロジー

有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。

当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な
『研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス』を設計・製造・販売しております

GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、
基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。

KOREA KIYON製不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で
水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。

各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。

【特徴】
[研究用小型真空蒸着装置]
○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、
　基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能

[不活性ガス循環精製式GBOX]
○不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計
○各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能

基本情報研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス

[便利ツール]
○基板洗浄治具
→試料基板の洗浄に。市販ビーカーにも対応
○キャリアBOX
→試料基板･小部品の密閉搬送に最適。内部アダプター交換可能
○基板測定治具
→デバイス形状に合わせコンタクト。デバイス基板の密閉測定に
○蒸発源
→各種材料に対応した蒸発源を用意
○真空プローパー
→デバイス基板の真空測定･評価に。搬送BOXにも対応
○GBOXプローパー
→GBOX内部でのデバイス基板の測定･評価に。外部モニター付

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取扱企業研究開発用装置　成膜装置･グローブボックス

株式会社エイエルエステクノロジー

■研究用真空装置の製造販売・有機EL研究用蒸着装置・昇華精製装置・キャリアボックス・試験用チャンバー・スパッタリング装置・UHV排気装置・特注真空装置・特注真空応用部品・研究・実験用の部品 < 真空部品の販売 > ・キヤノンアネルバ株式会社の扱う真空部品などの販売・ULVAC社の扱う真空部品などの販売・ファイファー製品の販売（ターボポンプ、真空計等） ■真空装置の改造 ■真空装置の保守サービス ■中古真空装置および中古のユニットの改造・販売　（東京都公安委員会承認の古物商資格取得） ■輸入販売業務・R.D.Mathis（米国ロスアンゼルス）　蒸着ボートの販売