ワークをクリーンに水切り乾燥します｡
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡
遠心力とULPAフィルタを介したエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡
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基本情報自転式スピンドライヤー(遠心乾燥機) 「SPD-180」
【仕様】
○駆動エアー 0.3Mpa (3Kg/cm2)
○最大処理量 8インチ×25枚キャリア 1キャリア
○ULPAフィルタ 有
○イオナイザ 有
○制御 PLC・インバータ
○操作部 タッチパネル
○運転レシピ登録数 5種類
○回転数 3,500rpm (5インチまで・6インチ以上は3,000rpm)
○モータ インバータモータ
○電源 AC200V 3φ 50/60Hz 8A
○寸法 652(W)×1135(D)×1080(H)mm 蓋開時の高さ1352(H)mm
○重量 110Kg
他、8インチまで対応の装置、手動機、自動機などのラインナップがございます。
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カタログ自転式スピンドライヤー(遠心乾燥機) 「SPD-180」
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