ブルーオーシャンテクノロジー株式会社 レンタル専用スピンコーター(卓上タイプ)
- 最終更新日:2016-12-12 13:46:32.0
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業界初!レンタル専用スピンコーター 簡易インナーカップ方式 小型・卓上タイプ 基板:Max250mm□
業界初!レンタル専用スピンコーター
受託加工(成膜・塗工)も対応可能
対応基板サイズ(MAX):250mm□・300mmウエハ
対象ワーク:ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム
貸出期間:15日間~1年間以上
テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり
小型・卓上タイプ
基本情報レンタル専用スピンコーター(卓上タイプ)
【装置構成】
・基板サイズ(MAX):250mm□・φ300mm
・回転数:MAX6000rpm(9000rpm)
・回転精度:±2rpm
・カップ外径:φ500mm(φ300mm)
・テーブル材質:アルミ(オプション:テフロンコーティング)
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 業界初!レンタル専用スピンコーター 受託加工(成膜・塗工)も対応可能 対応基板サイズ(MAX):250mm□・300mmウエハ 対象ワーク:ガラス基板・シリコンウエハ・フィルム 貸出期間:15日間~1年間以上 テーブル制作、自動供給ラインなどのオプションあり 小型・卓上タイプ |
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