三愛プラント工業株式会社 アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理 「スーパーアルピカ」

アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理 「スーパーアルピカ」 http://www.ipros.jp/public/product/image/352/2000214289/IPROS5040978067117678303.jpg 【処理概要】 ○適用材種 純アルミ、A5052、A6061、A6063 ○膜厚 0.2〜0.4 μm ○処理可能サイズ 500 × 500 × 500 mm(即応可能サイズ) 【特徴】 ○バリア型アノード酸化処理で、アルマイト処理と異なり、  ポーラス(多孔質)被膜ではない ○酸化被膜は緻密で表面積が小さく、低ガス放出を達成している ○大気中で500℃に加熱しても、被膜特性(ヒビ、変色、耐食性)に変化がない ○一般的なアルマイト処理に比べ、  ガス放出量が100〜1000分の1となる(真空中300℃加熱時) ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 三愛プラント工業株式会社 クリーンテック事業本部 業務支援サービス > サービス > その他受託サービス お問い合わせ下さい。
大気中で500℃に加熱しても、被膜特性(ヒビ、変色、耐食性)に変化がない

半導体・FPD製造装置にはアルミニウム合金が多用されています。製造プロセスで反応性ガスや腐食性ガスが使用されることも多く、アルミニウム合金をそのまま使用すると装置内壁や部品表面とガスやプラズマ、ラジカルが反応しプロセスの不安定化や装置の劣化が起こる可能性があります。三愛プラント工業は(株)アルバックと共同で従来のアルマイト処理に比べ格段にガス放出の少ないバリア型酸化・耐食処理、スーパーアルピカ/Super ALpikaを開発しました。


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基本情報アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理 「スーパーアルピカ」

【処理概要】
○適用材種 純アルミ、A5052、A6061、A6063
○膜厚 0.2〜0.4 μm
○処理可能サイズ 500 × 500 × 500 mm(即応可能サイズ)

【特徴】
○バリア型アノード酸化処理で、アルマイト処理と異なり、
 ポーラス(多孔質)被膜ではない
○酸化被膜は緻密で表面積が小さく、低ガス放出を達成している
○大気中で500℃に加熱しても、被膜特性(ヒビ、変色、耐食性)に変化がない
○一般的なアルマイト処理に比べ、
 ガス放出量が100〜1000分の1となる(真空中300℃加熱時)

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取扱企業アルミニウム合金の低放出ガス耐食処理 「スーパーアルピカ」

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化学研磨、電解研磨、精密洗浄(SMC) : 材種によって最適な洗浄方法で清浄性を達成します。表面処理(化学研磨・電解研磨)を組合せることで、より高品質な真空環境の達成を可能とします。 材種に最適な脱脂・洗浄処理を行い純水洗浄後、クラス1000クリーンルーム内で露点管理された窒素でブロー・包装し、お客様の元にお届けいたします。 精密再生洗浄(RMC) : 長年の経験と薬液に対する知識から様々な付着物を除去。部材の再使用を可能にします。また、汚染された部品を廃棄する際の無害化も請負います。 除錆、防錆、酸洗浄 : 日本最大級の洗浄槽を駆使し、多種多様な化学洗浄に対応します。表面処理剤には、毒性が無く除錆とリン酸鉄皮膜化成が同時に行える「アポリーA400」を使用しています。廃液の発生量を大幅に抑えることができ、環境保全に貢献します。 出張洗浄工事 : 近年、自然災害に見舞われることの多い日本。津波や土砂災害で被害を受けた発電所の洗浄工事を行いました。その他、工場の配管ラインやタンクの洗浄もお任せください。

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