株式会社昭和真空 油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

環境対策・電気代削減に役立ちます。

「ECO-22」は昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22インチ)に簡単に取り付けられる省電力ユニットと断熱ジャケットです。ECO-22を用いることで、排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減が可能になります。

【性能】
油拡散ポンプ2本搭載装置(SGC-1300シリーズ)の場合、ECO-22を用いると、1本で1.7kW,2本で3.4kWhの電力量削減が可能となります。
同システムを年間300日稼動(24時間)使用した場合、24480kWhの電力量が削減可能で、電気料金1kWh当り10円とした場合、24万4800円の電気料金の削減が可能となります。


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基本情報油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

【特徴】
○特許出願済
○昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22inch)に簡単に取付可能
○省電力ユニットと断熱ジャケットのセット
○排気性能を実用上低下させずに、環境対策、電気代削減に役立つ

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用途/実績例 昭和真空製内熱式油拡散ポンプ(22インチ)

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カタログ油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

取扱企業油拡散ポンプ用省電力ユニット 「ECO-22」

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株式会社昭和真空

【営業種目】 ○水晶デバイス用、光学薄膜用、電子デバイス用などの  総合的な真空関連装置並びに真空機器等 ○真空蒸着装置、スパッタリング装置、イオンプレーティング装置、  ドライエッチング・アッシング装置、真空冶金(溶解、熱処理、燒結、  脱ガス)装置、光学薄膜用モニター(多色式、単色式)、  IAD冷陰極イオンソース、液晶注入装置、有機EL用蒸着装置、その他

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