インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」は、処理室と取出室を別にし、イオンソースもＨ／Ｌを各々搭載したことで、アイドルタイムの少ない効率的な動作が可能になりました。
ＳＦＥ‐Ｂ０３に搭載したＩＧＦ－２０１型 １００ｍｍビームのイオンソースを２基搭載しています。
イオンソース１台あたり最大２４個、計４８個同時処理が可能です。
ＳＦＥ－Ｂ０３で実績のある高精度・高安定・高再現性の搬送機構を本装置にも採用しております。
今までインラインでは困難であった小型ワーク(2.0×1.6、1.6×1.2）の周波数調整も、安定して量産できます。
ユニット毎に各機器の分解が可能で、メンテナンス性を考慮した設計となっています。
【装置性能】
○タクトタイム ：０．３ｓｅｃ/ｐｃ以下
※１８MHz以上のワーク、１列２４個以上の場合
○調整精度 ：±１．５ｐｐｍ以下
○処理数 ：最大２４列(ｐ４．０)×３２列
○生産量 ：12000pcs /時間 以上
詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」
【仕様】
○ワークサイズ ： ＳＭＤ ２０１６以下の小型サイズにも適応可能
○装置構成 ： ３室（仕込室、処理室、取出室） インライン式
※オプションで ＬＤローダー（Ｏオーバー.Ｄドライブ付属）、
ＵＬＤとドッキングが可能
○搬送系 ： ＳＦＥ－Ｂ０３型と同じくＸ軸搬送をＨ／Ｌに各々採用
○排気系 ： 処理室 １２インチＣＰ 仕込室/取出室 ＲＰ＋ＭＢＰ
○イオンソース ： １００ｍｍビーム矩形型 ×２式
⇒最大４８個同時処理
○計測器 ： ネットワークアナライザー ４台
○ＰＣ ： Windows PC ×２台、DOS PC×２台
○周調工程 ： ２段階(Ｈ,ＬＬ)
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| 用途／実績例 | 水晶デバイス周波数調整 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 |
取扱企業インライン式周波数調整装置 「SFE-X2012」
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