ポリパラキシレン蒸着成膜装置マツボー

ポリパラキシレン成膜に特化した装置です。メーカは35年以上、ヨーロッパでポリパラキシレン成膜及び装置販売を行ってきました。

本製品は、密着性よくパリレンを成膜できる装置です。研究やR&Dだけでなく、量産にも対応できる装置を販売しております。また、装置の販売実績は50台を超えており、生産ラインで既に使用されております。

本装置の特徴は、次の通りです。
・装置クリーニング及びメンテナンスが、容易です。
・基材との密着性を向上させる為の前処理がin-situで処理可能です。
・装置に付帯するPLCによりプロセスが実行可能です。成膜レシピのログもCSVファイルに出力することができます。
・装置のカスタマイズが可能です。

基本情報ポリパラキシレン蒸着成膜装置

・ポリパラキシレンは、絶縁性、バリア性、抗菌性、生体適合性に優れています。

・プリカーサ: ポリ・パラエチレン, ポリ・クロパラエチレン, ポリ・ジクロロパラエチレン（材料も販売可能です）

・パリレンC（ポリ・パラエチレン）は生体適合性に優れており、FDA認証も取得しております。

・成膜プロセス:コーティングは、専用の真空蒸着装置を用い、室温にて実施されます。ダイマーと呼ばれる固体の顆粒状原材料を真空下で加熱すると、気化してダイマー気体となります。この気体が熱分解してダイマーが開裂し、モノマー形態になり、室温の蒸着チャンバ内で、このモノマー気体がすべての表面で重合し、薄く透明なポリマーフィルムが形成されます。

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型番・ブランド名	C20S
用途／実績例	☆医療機器用途：ステント心臓支援装置マンドレル & 成形型カテーテルエラストマーシール針 & 硬膜外プローブ医療用電子機器 ☆エレクトロニクスコーティング用途：プリント回路基板・アセンブリセンサ LED MEMS コンデンサウエハフェライトコアビデオディスプレイ金属部品 ☆防衛 / 航空宇宙コーティング用途： MEMS センサ回路カードアセンブリモーター部品電源バックプレーンエラストマー部品