入江工研株式会社 シャッター

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。

ビューイングポートへの蒸着保護および光・ビームの遮断にご利用ください。真空機器向けに設計したシャッターです。手動タイプと自動タイプ(エアー駆動)の2タイプを用意しています。

基本情報シャッター

ベローズ式回転導入機を使用した信頼・実績のある機構を採用
超高真空領域まで使用可能
バタフライ式でなおかつシャッター折り曲げ式機構のため、視界が広範囲
回転ロック機構付きで、開度が任意に設定可能
両端コンフラットフランジ(両刃)のため、配管途中に取り付け可能

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 高真空領域まで使用可能です

取扱企業シャッター

IKC bellows.jpg

入江工研株式会社

半導体・FPD製造装置に使用される真空用金属ベローズをはじめ、真空ゲートバルブ、真空チャンバ−、導入機など、真空装置付属機器分野で数多くの製品を提供しています。

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