株式会社ノダRFテクノロジーズ 2周波/3周波/4周波 高周波電源
- 最終更新日：2015-07-06 13:27:05.0
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複数の周波数を交互に出力可能 プラズマの高密度化・新プロセスの開発に貢献
・2周波電源
13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW
27.12MHz/60MHz 3kW
2MHz/4MHz 1kW 2kW
400kHz/800kHz 500W
・3周波電源
27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW
13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 3kW
13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W
・4周波電源
13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW
基本情報2周波/3周波/4周波 高周波電源
・2周波電源
13.56MHz/27.12MHz 500W 1kW 2kW 5kW
27.12MHz/60MHz 3kW
2MHz/4MHz 1kW 2kW
400kHz/800kHz 500W
・3周波電源
27.12MHｚ/40.68MHz/54.24MHｚ 5kW
13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 500W 3kW
13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz 20W
・4周波電源
13.56MHz/27.12MHz/40.68MHz/54.24M 1kW
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置等、幅広い業界でご採用頂いております |
取扱企業2周波/3周波/4周波 高周波電源
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【営業品目】 ●プラズマ発生用高周波電源 ・プラズマ発生用マッチングボックス ・プラズマ発生用マッチングコントローラ ・大気圧プラズマ発生用電源 ・有毒ガス除去用プラズマ電源 付属機器 ・VDC/VPP表示ユニット ・VDC/VPPコントローラユニット ・位相シフター ・分配器 ・ＲＦカットフィルター
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