株式会社ノダRFテクノロジーズ DC重畳用自動整合器
- 最終更新日：2015-07-25 13:19:20.0
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DC電源とRF電源の重畳に対応タイプの自動整合器です
型式 NM3AD-XX
周波数 13.56MHz
通過電力 3KW
入力インピーダンス 50Ω 不平衡
整合モード 自動又は手動切り替え
入力コネクタ HNコネクタ
出 力 ブスバー
冷 却 水冷/空冷併用
整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内
外部アナログI/O 0～10.0V
外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net
電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)
基本情報DC重畳用自動整合器
型式 NM3AD-XX
周波数 13.56MHz
通過電力 3KW
入力インピーダンス 50Ω 不平衡
整合モード 自動又は手動切り替え
入力コネクタ HNコネクタ
出 力 ブスバー
冷 却 水冷/空冷併用
整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内
外部アナログI/O 0～10.0V
外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net
電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置、等 |
取扱企業DC重畳用自動整合器
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【営業品目】 ●プラズマ発生用高周波電源 ・プラズマ発生用マッチングボックス ・プラズマ発生用マッチングコントローラ ・大気圧プラズマ発生用電源 ・有毒ガス除去用プラズマ電源 付属機器 ・VDC/VPP表示ユニット ・VDC/VPPコントローラユニット ・位相シフター ・分配器 ・ＲＦカットフィルター
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