株式会社ノダRFテクノロジーズ F(周波数)マッチ高周波電源
- 最終更新日：2015-07-28 11:04:33.0
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特徴
マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現
電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー
超高速マッチングを実現
■ NR1S13M-01
出力電力範囲 0～1200W(内部キャリブレーション機能使用時)
最大定格1000W
定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続
出力方法 連続出力
出力インピーダンス 50±2Ω
RF出力コネクタ HN-R
出力調整範囲 0～1200W連続可変(設定は1W刻み)
定格出力電力1000W
出力周波数 13.56MHｚ
周波数安定度 ±0.01%(10～40℃)水晶発振
周波数可変範囲 13.2MHｚ～15.0MHｚ(Fマッチ動作時に限る)
冷却方式 強制空冷 背面吹出し
外形寸法 W430×D640×H174
重量 約29kg
基本情報F(周波数)マッチ高周波電源
特徴
マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現
電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー
超高速マッチングを実現
■ NR1S13M-01
出力電力範囲 0～1200W(内部キャリブレーション機能使用時)
最大定格1000W
定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続
出力方法 連続出力
出力インピーダンス 50±2Ω
RF出力コネクタ HN-R
出力調整範囲 0～1200W連続可変(設定は1W刻み)
定格出力電力1000W
出力周波数 13.56MHｚ
周波数安定度 ±0.01%(10～40℃)水晶発振
周波数可変範囲 13.2MHｚ～15.0MHｚ(Fマッチ動作時に限る)
冷却方式 強制空冷 背面吹出し
外形寸法 W430×D640×H174
重量 約29kg
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | NR1S13M-01 |
| 用途／実績例 | 半導体製造装置等 |
取扱企業F(周波数)マッチ高周波電源
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【営業品目】 ●プラズマ発生用高周波電源 ・プラズマ発生用マッチングボックス ・プラズマ発生用マッチングコントローラ ・大気圧プラズマ発生用電源 ・有毒ガス除去用プラズマ電源 付属機器 ・VDC/VPP表示ユニット ・VDC/VPPコントローラユニット ・位相シフター ・分配器 ・ＲＦカットフィルター
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