卓上AFM http://www.ipros.jp/public/product/image/f47/2000223393/IPROS56992311143607000.jpg 初心者でも正確な測定が可能です! サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます! ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】  ・奥行幅、共に15cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能  ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績  ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します  ・スキャンに電磁スキャナー(特許取得済み)を使用することにより   基板を移動させることがありません  ・一般にAFMに使用されているピエゾ素子を使用しておりませんので   非線形クリープ、経年変化はありません  ・ダメージレスで非破壊で測定可能  ・AFM用カーボンナノプローブ(高分解能・長寿命) 【ソフトアプリケーション】  ・微細線幅測定  ・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定  ・石英ガラス表面検査  ・マスクパターン測定  ・研磨、CMP後の表面検査評価  ・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定  ・ハードディスクの磁気フィールドの観察  ・フィルム表面検査  ・高精度金型の表面解析  ・光学部品、精密部品の評価 ブルーオーシャンテクノロジー株式会社 製造・加工機械 > 半導体製造装置 > 半導体検査/試験装置
電磁スキャナー式(特許取得済み) ダメージレスで非破壊で測定可能 低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します

初心者でも正確な測定が可能です!
サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます!
ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。
【製品特徴】
 ・奥行幅、共に15cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能
 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績
 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します
 ・スキャンに電磁スキャナー(特許取得済み)を使用することにより
  基板を移動させることがありません
 ・一般にAFMに使用されているピエゾ素子を使用しておりませんので
  非線形クリープ、経年変化はありません
 ・ダメージレスで非破壊で測定可能
 ・AFM用カーボンナノプローブ(高分解能・長寿命)
【ソフトアプリケーション】
 ・微細線幅測定
 ・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定
 ・石英ガラス表面検査
 ・マスクパターン測定
 ・研磨、CMP後の表面検査評価
 ・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定
 ・ハードディスクの磁気フィールドの観察
 ・フィルム表面検査
 ・高精度金型の表面解析
 ・光学部品、精密部品の評価

基本情報卓上AFM

初心者でも正確な測定が可能です!
サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます!
ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。
【製品特徴】
 ・奥行幅、共に15cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能
 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績
 ・低コストを実現。高額なAFMと同等の機能を有します
 ・スキャンに電磁スキャナー(特許取得済み)を使用することにより
  基板を移動させることがありません
 ・一般にAFMに使用されているピエゾ素子を使用しておりませんので
  非線形クリープ、経年変化はありません
 ・ダメージレスで非破壊で測定可能
 ・AFM用カーボンナノプローブ(高分解能・長寿命)
【ソフトアプリケーション】
 ・微細線幅測定
 ・シリコン、化合物ウエハ表面形状測定
 ・石英ガラス表面検査
 ・マスクパターン測定
 ・研磨、CMP後の表面検査評価
 ・薄膜段差測定、成膜時の連続、不連続測定
 ・ハードディスクの磁気フィールドの観察
 ・フィルム表面検査
 ・高精度金型の表面解析
 ・光学部品、精密部品の評価

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【測定検査例】
・ICパターン
・SIウエハ
・バイオチップ
・GaNウエハ
・量子ドット
・そのほか、多数の測定事例
【装置仕様】
 高分解能仕様     
  1.最大走査レンジ :10μm         
  2.最大Zレンジ:1.8μm        
  3.Z方向分解能 :0.027nm      
  4.XY方向分解能:0.15nm        
  5.非線形性:<0.6%        
  6.ノイズレベル:0.04nm         

 広域走査仕様
  1.最大走査レンジ:110μm
  2.最大Zレンジ:22μm
  3.Z方向分解能 :0.34nm
  4.XY方向分解能:1.7nm
  5.非線形性:<0.6% 
  6.ノイズレベル:0.3nm

取扱企業卓上AFM

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